半導(dǎo)體/集成電路的前道制造工藝一直是高端制造業(yè)里最為復(fù)雜和精密的領(lǐng)域之一，同時(shí)在絕大多數(shù)非專業(yè)者眼里充滿了神秘色彩。甚至很多行業(yè)相關(guān)的人士對(duì)于具體制造工藝的細(xì)節(jié)也不甚了解。所以，我通過個(gè)人的資料收集，整理了一個(gè)前道制造工藝以及相關(guān)設(shè)備類型的表格，方便有興趣的讀者參考。